Puolijohdelaitteiden valmistuksen maailmassa,pinnan laadussa ei ole kyse vain estetiikasta-se on myös toimivuudesta, pitkäikäisyydestä ja tarkkuudesta. Komponenttien, kuten kiekkojen istukat, linssin kiinnikkeet ja tarkkuusohjaimet, on täytettävä paitsi mittatoleranssit myösäärimmäiset pintakäsittelyvaatimukset, usein allaRa 0,1 μm.
Miksi nanometri{0}}tason pinnan viimeistely on tärkeää
Suorituskykyiset{0}}puolijohdelaitteet ovat vahvasti riippuvaisia kosketusten tarkkuudesta ja puhdastilojen yhteensopivuudesta. Nanometrin raja-arvot ylittävä pinnan karheus voi:
häiritäkiekkojen sijoittelun tarkkuus
Lisätäkitkaa ja kulumistaliikkeen aikana
Aiheuttaaoptisen signaalin sironta, jotka vaikuttavat fotolitografiaan
Luodahiukkasloukut, lisää kontaminaatioriskiä
Esimerkiksi akiekkolavan tukirengasJos pinnan karheus ylittää määrityksen, se voi aiheuttaa mikro{0}}värähtelyä, mikä heikentää paikannustarkkuutta ja heikentää tuottoa.
CNC-koneistuksen haaste
Pintakäsittelyn saavuttaminen Ra, joka on pienempi tai yhtä suuri kuin 0,1 μm, ylittää huomattavasti tavallisia CNC-prosesseja. Perinteiset työkalut ja parametrit jättävät usein jälkeensä mikro-naarmuja, koneistusjälkiä tai jäännösjännitystä-, joita ei voida hyväksyä puolijohdeympäristöissä.
Lähestymistapamme nanometrin{0}}tason laatuun
kloBISHEN Tarkkuus, olemme kehittäneet koneistuksen työnkulkuja erityisesti pintaherkkiin{0}}sovelluksiin:
Käyttöultra-hienorakeiset kovametallityökalutmukautetuilla geometrioilla
Kiillotuspassitintegroitu lopullisiin työstöradoihin
Jäähdytysnesteen ohjausjärjestelmätlämmön{0}}aiheuttamien mikro-kyynelten välttämiseksi
Koordinointi kanssaCMM:t ja valko{0}}valointerferometritkarheuden vahvistamiseksi
Jokaiselle osalle suoritetaan monivaiheinen{0}}tarkastus, ei vain mittatoleranssien, vaan myösalle{0}}mikronin pinnan tasaisuuskaikilla kosketustasoilla.
Real Case: peili{0}}valmiit kiekkotukilevyt
Asiakas vaati alumiinilevyjä, joiden pintakäsittely oli parempi kuinRa 0,05 μm, yhtenäinen koko telineessä. Käyttämällä optimoituja-nopeita viimeistelytekniikoita ja mukautettuja kiillotusstrategioita, toimitimme komponentteja, jotka ylittävät tekniset-valmiudet EUV--tason puhdastilakokoonpanoon.
Älä anna pintakäsittelyn heikentää järjestelmääsi
Pinnan epätäydellisyys nanomittakaavassa voi hiljaa vaarantaa tarkimmat mekanismisi. Jos hakemuksesi vaatiioptisia{0}}laatuja, taiylivoimainen kitkakyky, puhu meille. Autamme varmistamaan, että osasi vastaavat molempiasuvaitsevaisuusjarakenne.
