Puolijohdeteollisuudessa,mikroni{0}}tarkkuusei ole luksusta-se on lähtökohta. Käytetyt komponentitkiekkojen käsittelyjärjestelmät, etsauskammiot, jafotolitografiatyökalutvaatiamittatoleranssitusein alle 5 mikronia. Perinteiset CNC-työstömenetelmät eivät pysty vastaamaan tällaisiin vaatimuksiin ilman erikoistunutta prosessinohjausta ja metrologiaa.
Haaste: Kun mikroneilla on väliä
Toisin kuin perinteiset teollisuusosat, puolijohdekomponenttien on:
Ylläpidääärimmäinen tasaisuus ja yhdensuuntaisuus
Onkotarkka reikien kohdistus ja nousu
Varmistaminimaaliset pintavirheetjotka voivat vaikuttaa tyhjiöön tai optiseen suorituskykyyn
Pieninkin poikkeama voi johtaa:
Virhe kiekkojen siirron aikana
Tarkkuuden menetys valokuvanaamion projisoinnissa
Sadonmenetys kontaminaatiosta tai geometrisesta poikkeamasta
Todellinen-esimerkki: Litografiatyökalukehykset
Yhdessä hankkeessa, johon osallistui akevyt alumiiniseosrunkofotolitografiajärjestelmää varten,alle 5 μm toleranssivaadittiin asennuspinnoille sen varmistamiseksitäydellinen päällekkäinen kohdistussirukuvioista.
Tämän saavuttamiseksi sovelsimme:
5-akselinen CNC-työstö lämpökompensaatiolla
Matala-värinä, nopea{1}}karan ohjaus
Reaaliaikainen{0}}ulotteinen mittaus ja palautesilmukat
Ilman tällaista tarkkuutta pelkkä 10 μm:n siirto voi vääristää maskin kohdistusta ja vähentää sirun tuottoa,{1}}mikä maksaa asiakkaalle huomattavia seisokkeja ja materiaalihäviöitä.
Prosessi osoitteessaBISHEN Tarkkuus
Palvelemme puolijohteiden OEM-valmistajia:
Ultra-tarkka CNC-jyrsintä ja -sorvaus (toistettavuus ±2-5 μm)
Ra Pienempi tai yhtä suuri kuin 0,2 μm pintakäsittelykriittisille tiivisteille tai optisille vyöhykkeille
Puhdastila{0}}yhteensopiva pakkaus
CMM- ja laserskannaustarkastus jäljitettävillä raporteilla
Tiimimme ymmärtääjokaisen mikronin kriittisyyttä-ja tukee sitä kokemuksella sekä T&K:n että suuren-mix-pienen{2}}volyymien tuotantoympäristöjen palvelemisesta.
Miksi sillä on merkitystä
Puolijohteiden valmistuksessa geometria on kaikki kaikessa. Mikä tahansa vääristymä, kohdistusvirhe tai purse voi aiheuttaa:
Kuvion vääristymä
Kiekkojen käsittelyvirheet
Tyhjiöjärjestelmän vika
Tarkkuuskoneistuksessa ei ole kyse vain tiukoista toleransseista-, vaan sen varmistamisestatoimivuus ja luotettavuusseuraavan -sukupolven sirutuotantolaitteista.
