Tapaustutkimus: Läpimurto kvartsilasialustan käsittelyssä
Käsittelykohde: kvartsilasisubstraatti fotolitografiaa varten
Tekniset tiedot:
Materiaali: 99,99 % korkean -puhtauden kvartsilasia
Käsittelyominaisuudet: kaksipuolinen -C0,2 viiste + pystysuora sivuseinä
Pintavaatimukset: Ra < 150nm (peilitaso)
Mitat: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Teollisuuden jalostuskipupisteiden analyysi
Puolijohdevalmistuslaitteiden ytimessä käytettävien kvartsiosien on täytettävä kolme tiukkaa standardia samanaikaisesti: materiaalin läpäisy > 99,6%, mittatoleranssi ±10 μm ja sivuseinän karheus Ra < 150 nm. Perinteisessä käsittelymenetelmässä käytetään hiomalaikan hiontaprosessia, jolla on kaksi suurta teollisuuden ongelmaa:
Tehokkuuden pullonkaula: yhden kappaleen-käsittely kestää jopa 120 minuuttia
Pintaviat: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Työkalun menetys: tavallinen työkalun käyttöikä on alle 50 kappaletta
BISHENratkaisuteknologian innovaatioita
Kvartsimateriaalien kovien ja hauraiden ominaisuuksien vuoksi komposiittikäsittelyratkaisuon hyväksytty:
• 20 kHz ultraäänitarkkuuskaiverrus- ja jyrsintäjärjestelmä
• Integroitu PCD-mikro{0}}teräjyrsin (reuna R0,05 mm)
• Aksiaalinen kerrosleikkausprosessi (2 μm per kerros)
Mitattujen käsittelyetujen vertailu
Prosessin todentamisen ja vertailun avulla avainindikaattoreita on parannettu merkittävästi:
Toimialan sovellusarvo
Tämä ratkaisu ratkaisi onnistuneesti "pullonkaula"-prosessointiongelman litografiakoneen osien lokalisointiprosessissa lisäämällä kvartsisubstraatin tuotantokapasiteettia 10 kappaleesta päivässä 50 kappaleeseen ja prosessoinnin pätevyysastetta 63 %:sta 98,5 %:iin. Zeissin laserinterferometrin havainnon mukaan käsittelypinnan tarkkuus PV-arvo on<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
NoinBISHEN
Bishen Precisionon erikoistunut tarkkuuslaitteiston osien käsittelyyn 7 500 neliömetrin standardoiduilla työpajoilla, ja sen palvelut kattavat ilmailun, lääketieteelliset laitteet, teollisuusrobotit ja muut alat. Kyky käsitellä monimutkaisia rakenneosia ja ISO-järjestelmäsertifiointi tarjoaa asiakkailleen täydelliset-prosessiratkaisut suunnittelusta ja kehityksestä massatuotantoon.
