Käsittelyobjektin analyysi
Materiaali: optinen kvartsilasi
Käsittelyominaisuudet: moni-pinnan ääriviivojen hionta (mukaan lukien 3 epäsymmetristä pintaa)
Avaimen mitat: 16×16×10mm (virhe ±0,002mm)
Tämä kvartsiprisma, joka on vain kynnen kokoinen, on kotimaisen huippuluokan litografiakoneen optisen järjestelmän valo{0}}ydinelementti. Sen 8 monimutkaisen kaarevan pinnan on saavutettava 99,6 %:n läpäisykyky ja nanometrin -taittotarkkuus, ja pinnan karheus vaikuttaa suoraan litografiakoneen valotusresoluutioon.
Alan kipukohdat ja tekniset ongelmat
Optisen teknologian yritys kohtasi pullonkaulan kvartsiprisman käsittelyssä edistäessään litografiakoneiden lokalisointia:
Perinteisiä hiontavirheitä: Manuaalisen kiillotuksen jälkeen karheus saavuttaa edelleen Sa 120 nm, mikä johtaa 15 %:n valonsirontahäviöön
Laitteiden riippuvuus tuonnista: Yhden japanilaisen ultra-tarkkuushiomakoneen hinta ylittää 20 miljoonaa yuania, ja toimitusaika on jopa 18 kuukautta
Tuottokriisi: Vain 32 ensimmäisestä 500 testituotannon erästä täytti standardit, mikä hidasti vakavasti projektin edistymistä
Dilemma "ei ole varaa maahantuotuihin laitteisiin ja kotimaiset prosessit eivät ole hyviä" esti suoraan itsenäisen litografiakoneen kehittämisen.
BISHENratkaisujen ratkaisu
Vastauksena optisten komponenttien äärimmäisiin tarkkuusvaatimuksiin BISHENin tekninen tiimi on kehittänyt innovatiivista tutkimusta ja kehitystä:
1. Ultraääni pystysuora viiden-akselin kytkentäkäsittelyjärjestelmä
2. 0.1μm-tason dynaaminen kompensointi, 18-akselisten vivustotyöstökoneiden tarkka ohjaus
3. Yhteensopiva epäsymmetrisen pinnan CAD/CAM älykäs ohjelmointi
4. Korkeataajuinen-ultraääniavusteinen hiontatekniikka
5. 40kHz ultraäänivärähtely vähentää 52 % leikkausjännitystä ja välttää kvartsimikrohalkeamia
6. Timanttimikro-jauhehiomalaikan käyttöikä pidennetään 3 kertaa
Todellinen mitattu suoritushyppy
Tietyn tyyppisen kotimaisen litografiakoneprisman massatuotannossa on saavutettu kolme suurta läpimurtoa:
1. Pinnan laatu: Karheus Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Prosessoinnin tehokkuus: Yhden-kappaleen työtunnit puristetaan 14 tunnista 3,5 tuntiin
3. Kustannusten hallinta: Laiteinvestointi on vain 1/5 tuodusta ratkaisusta
Ensimmäisen 3 000 tuotteen erän tuottoaste hyppäsi 98,7 prosenttiin, mikä auttoi asiakkaita saattamaan prototyyppien kokoonpanon 6 kuukautta etuajassa.
noinBISHEN
BISHENPrecision Technology (perustettu vuonna 2017) keskittyy "pullonkaula"-teknologian murtamiseen huippuluokan valmistuksen alalla. Se on rakentanut 7 500 neliömetrin digitaalisen tehtaan Dongguaniin, ja se on varustettu maahantuoduilla laiteklustereilla, kuten viisi-akselin linkitystyöstökeskuksella ja ultra-tarkkuusoptisilla hiomakoneilla. Soveltamalla innovatiivisia teknologioita, kuten ultraäänityöstöä ja kryogeenistä leikkausta puolijohdelaitteisiin, optoelektronisiin instrumentteihin ja muilla aloilla, se on tarjonnut keskeisiä osien käsittelyratkaisuja yli 20 kotimaiselle litografiakoneteollisuuden ketjuyritykselle ja toimittanut yli 500 000 tarkkuusoptista komponenttia.
